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該復合型有機廢氣處理設備分為等離子分解和紫外線光解兩個區(qū)，將等離子裝置布置在光解設備的前段，離子裝置產(chǎn)生的臭氧與有機廢氣混合后，流經(jīng)紫外線燈管，紫外線燈管能進一步地觸發(fā)臭氧的生成，同時再經(jīng)過燈管254nm紫外線的催化作用，臭氧與有機物的反應效能大幅提升，從而取得很好的處理效果。    

等離子分解區(qū)：采用了獨特的吸附-分解-碳化工藝技術(shù)設計，無需再生處理原料，無需專人負責，不產(chǎn)生二次污染。采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產(chǎn)生高強度、高濃度、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內(nèi)，瞬間對經(jīng)過UV光解區(qū)進入等離子分解區(qū)的氣體內(nèi)殘留的有害分子進行氧化還原反應，將廢氣中的污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質(zhì)。

UV紫外線光解區(qū)：利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，改變惡臭氣體，如氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、四硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線下，降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物，如CO2、H2O等。再分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧。因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進而產(chǎn)生臭氧。眾所周知，臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它感激性異味有立竿見影的清除效果。有機惡嗅氣體通過本區(qū)后，凈化運用高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協(xié)同分解氧化反應，使惡臭氣體物質(zhì)降解轉(zhuǎn)化成低分子化合物、水和二氧化碳，裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧氧化反應。